集成电路的ESD是什么?ESD静电放电的分类及改进措施

时间:2023-03-13 17:47:49 点击:


一、ESD是什么?ESD的概念

ESD全称Electro-Static discharge,意思是‘静电释放,静电放电"。静电放电,很容易造成电子元件或电子系统遭受过度电应力而永久破坏。在芯片制造、生产测试、搬运等过程中,静电会积累在人体、仪器、设备之中,甚至芯片本身也会积累静电,这些静电-且在某些情况下形放电通路,那么芯片便有可能遭受高压、大电流的静电放电损害。



二、集成电路中ESD现象概

集成电路制造技术已经进入纳米(mm)时代,随着特征尺寸的降低,ESD问题越来越成为集成电路中最主要的可靠性问题。所谓ESD现象,就是在集成电路芯片的制造、运输、使用过程中,芯片的外部环境或者内部结构会积累-定量的电荷,这些积累的电荷会瞬间通过芯片的管脚进入集成电路内部。瞬间通过集成电路内部的峰值电流可以达到数安培,这个瞬态大电流值足以将芯片烧毁(见下图)




三、ESD产生来

当两个带有相反电荷的物体相接触时就会发生放电的现象,比如摩擦、离子注入等过程中很容易造成芯片中的静电积累,当积累有电荷的芯片与人体、机械导体、其它芯片接触时,就有可能发生静电放。这个过程可能持续几纳秒到几百纳秒,放电电压可能高达几百伏甚至上千伏,放电电流可能高达数安培甚至数十安培,芯片内的器件在这样高压、大电流的作用下会发生不可逆的破坏,这是需要设计ESD保护电路的根本原因。



四、ESD分类类


(1)HBM-人体放电模式

指因人体通过磨擦或其他因素积累了静电,此时当人去碰触IC时,人体上的静电便会经由IC的PIN脚进入IC内,再经由IC放电到地。

(2)CDM-组件充电模式:

指IC先因磨擦或其他因素而在IC内部积累了静电,但在静电积累的过程中IC并未受到损伤。这种带有静电的IC在处理过程中,当其PIN脚碰触到接地面时,IC内部的静电便会经由PIN脚自IC内部形成放电,此种模式的放电时间可能只在几ns内。

(3)MM-机器放电模式(,Machine Model):

指机器本身积累了静电,当此机器碰触IC时,该静电便经由IC的PIN脚放电。此放电的过程时间更短,电流更大。

(4)FIM-电场感应模式:

此FIM模式的静电放电发生是因电场感应而起的。当IC因输送带或其它因素而经过一电场时,其相对极性的电荷可能会自一些IC脚而排放掉,等IC通过电场之后,IC本身便累积了静电荷,此静电荷会以类似CDM的模式放电出来。

实际应用中以CDM组件充电模式和HBM人体放电模式最为常见。



五、集成电路中ESD问题的改进措施

为了给IC提供合理的ESD保护,需要考虑以下内容:①冲击IC的ESD传递模式。②内部ESD保护。③用电路与 IC内部ESD保护的相互配合。④修改应用电路提高IC的ESD保护能力。因此主要有三种方法来改进:

(1)IC芯片外ESD防护

片外ESD保护器件常见的有陶瓷电容、齐纳二极管、肖特基二极管、MLV和TVS 等。MLV是一种基于ZnO压敏陶瓷材料,其工作原理是利用压敏电阻的非IC芯线性特性,当过电压出现在压敏电阻的两极间,压敏电阻可以将电压钳位到一个相对固定的电压值,从而实现对后级电路的保护。

(2)IC芯片上ESD防护

在芯片里集成ESD 防护单元,当静电信号到来的时候能够保护内部电路免遭烧毁,相比于IC芯片外ESD防护电路,片内ESD防护电路的优点是:直接而且显著增强 ESD 防护能力,节省板级空间,减少系统成本并降低设计与布线的复杂度,但目前片上集成ESD 防护电路的难度相当大。但是片上ESD 防护单元的设计,对电子产品抗击ESD伤害有着至关重要的作用。

(3)避免ESD情况的发生

防止静电荷的积累,从而彻底消除静电放电现象,但该措施仅适合于生产现场或静电敏感物品的运输等场合。

      

以上是汉芯国科今日分享的ESD概念、分类及改进措施,希望对您有所帮助!





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