集成电路制造工艺是什么? 集成电路的前段和后端工艺流程

时间:2023-02-28 17:52:49 点击:

这篇文章主要是分享集成电路的主要工艺流程,帮助用户更好理解。

集成电路制造工艺是把电路所需要的晶体管、二极管、电阻器和电容器等元件用一定工艺方式制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬底上,再用适当的工艺进行互连,然后封装在一个管壳内,使整个电路的体积大大缩小,引出线和焊接点的数目也大为减少。

工艺流程可分为前段制造(包括晶圆处理、晶圆测试)和后段制造(包括封装、测试)前段工艺-般是指晶体管等器件的制造过程,大都是设计数字逻辑电路以实现预定功能,主要包括隔离、栅结构、源漏、接触孔等形成工艺。后段工艺,是将设计好的逻辑电路布线在一个器件层、多个金属层中,主要是指形成能将电信号传输到芯片各个器件的互连线,包括互连线间介质沉积、金属线条形成、引出焊盘制备工艺为分界线。


、晶圆处

是在硅晶圆上制作电子器件(如CMOS、电容、逻辑闸等)与电路,该过程极其复杂且投资大,对制造环境无尘室的要求严苛,温度、湿度与含尘均需严格控制。尽管,各类产品的制造工序稍有不同,但基本工序-般是在晶圆清洗后,进行氧化及淀积,然后反复进行光刻、刻蚀、薄膜淀积及离子注入等工序,最后形成晶圆上的电路。


例如光刻技术:光刻是单片集成电路工艺中一项重要技术,在光刻过程中用到的主要材料为光刻胶(光致抗蚀剂),有正胶、负胶之分。其中,正胶曝光前不溶而曝光后可溶,负胶曝光前可溶而曝光后不可溶。

光刻的步骤:

1.接触式光刻:可得到较高分辨率,但容易损伤掩模版和光刻胶膜

2.接近式光刻:大大减少了对掩模版的损伤,但分辨率降低。

3.投影式光刻:减少掩模版的磨损也有效提高光刻的分辨率。

二、晶圆测

是在晶圆完成后,在晶圆上进行的电测试。-般情形下,-片晶圆上只有一-种产品。每个晶粒将会一经过测试, 不合格的晶粒被标上记号。然后,晶晶将以晶粒为单位切割成一粒粒独立的晶粒。


三、芯片封

利用塑料或陶瓷包装晶粒与配线以成产品;目的是给制造出的电路加上保护层,避免电路受到机械性刮伤或是高温破坏。


四、芯片测

是对封装好的芯片进行测试,检验各项功能及参数指标,保证各项参数能够达标,以保证其良率。




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