在晶圆制造完成之后,晶圆测试是一步非常重要的测试。测试过程中,每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到,鉴别出合格的芯片,将次品早于封装之前挑出,为后续封装工序把握重要一关。
二、晶圆测试的方法
1.方法:
在集成电路制造过程中,通常需要将晶圆固定于测试机台上,并逐个对晶粒进行光学、电学等性能测试,晶圆测试是对每个晶粒进行针测。具体方法是用探针卡与芯片上的触点连接,由测试机给出一系列脉冲信号,检查芯片的反馈结果。此时,反馈正常的芯片被认为是良品,做记号后保留,反馈不正常的芯片会根据其不同的测试结果标为不同的记号,作为工程师分析改进之用。将来切割封装的时候不合格的芯片会被淘汰,不再进入下一个制程。
2.常规和抽样测试:
常规的晶圆测试是对每个晶粒进行检测,鉴别合格率,但有一些产品的良品率相当高,有的达到了99%甚至更高的地步,这时候可以选择对这样的产品进行抽样测试。但不能选择跳过探针测试而直接进入封装步骤,是为了防止有些晶圆在生产的时候出现异常,发生低良品的事件。抽样测试的时间跨度很大,不利于监测实际测试过程中是否出现了问题,但从另一方面说,它可以大大的减少测试时间,节约测试的成本。